AE người thật50ߵɽмֵĶΨƷʽаͳġϴDzܼͨڿഫȥûûаȫûо֪ͬƷ
ҽʽʹЧҩҽķ뱻µļҪٵöࡪЩҽķ֮֮ҩҽijϻڽԼҽʽԴ˳Ϊڵֵ̽ÿ϶һͨ淶ĽͽҩҽΪרҵṩЧ֧뱣֤һɴ˲Ϊ̲һԲ˹֮ȺĿ
ý17ձǰоȫоƬ豸̡ASML̨ȽEUVߣֵ̻1.2ԪĿǰҵѴɹʶʹEUV̻ʹ뵼оƬ7nm5nmʱϢ̨൱оȥȫ豸2019ǰ۲ۺϱϯȨǰᶭ³ɭǰ̨ǰ½μӵʮ캣Ͽ̨̳֡22˵롰ɡһЩ̵ĶҲȷʵ˿IJĽïĿھ̴۲δΪӼƻ̨һλĿԱʾ϶ïԤ״ο̼ƻƳС߲㾫װƷΪ83-99ƽĶ״ο̵ļ۸ȽŻӦ3.5Ԫ/ƽʵĿвڲ۷Դ99ƽڲ۷ԴԼΪ260Ԫ/2.8Ԫ/ƽۼŵؼ۳ɱ
˽СڴƼŹڼҪֹܹʻҵԭеͶй˾ʱڵľϢϢ鴫ѧϰȫĸίԱڶλ龫ой᳹ʵȡлĸƽʸĸй㱨顶ڹ᳹ʮŴȫйʸĸ﷽2018-2022꣩ݡͺнһ˲ŷſʵʩϸ()涨˴λΪ1.ѧعԱȫͨߵѧУͨеְҵѧУͼѧУҵǨϰ仧ڲ֤仧˱֤Ƭѧ֤ԭӡ߱ͥṩ˺Ϸȶס֤סֱ֤ϵ֤߱ͥ䵥λ廧廧